下载一种无卡销、依赖后座-离心复合环境的用于微结构的闭锁机构的技术资料

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本发明涉及一种无卡销、依赖后座-离心复合环境的用于微结构的闭锁机构。本发明结构简单,可靠性高,易于批量生产,成本低,并实现了一体化加工。本发明包括MEMS平面弹簧、导向销、基板、上下盖板、和一体化加工出闭锁卡槽的滑块。闭锁机构超低能耗,能量...
该专利属于北京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京理工大学授权不得商用。

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