一种无卡销、依赖后座-离心复合环境的用于微结构的闭锁机构制造技术

技术编号:9352543 阅读:147 留言:0更新日期:2013-11-20 19:40
本发明专利技术涉及一种无卡销、依赖后座-离心复合环境的用于微结构的闭锁机构。本发明专利技术结构简单,可靠性高,易于批量生产,成本低,并实现了一体化加工。本发明专利技术包括MEMS平面弹簧、导向销、基板、上下盖板、和一体化加工出闭锁卡槽的滑块。闭锁机构超低能耗,能量来源为后座-离心复合环境,当滑块受后座-离心复合环境的影响,克服MEMS平面弹簧的阻力沿着导向销运动到位后,滑块上一体化加工出的闭锁卡槽与导向销卡死进行闭锁,当后座-离心复合环境消失的时候,滑块精确定位并且不会回弹。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种无卡销、依赖后座?离心复合环境的用于微结构的闭锁机构,组成是:MEMS平面弹簧、导向销、基板、上下盖板、和一体化加工出闭锁卡槽的滑块,其特征是:在平时状态下,MEMS平面弹簧拉伸滑块,导向销位于滑块导向槽的最下方,使滑块保持一种状态;当系统整体受后座?离心复合环境的状态下,滑块克服MEMS平面弹簧的阻力沿着导向销运动,并且用闭锁卡槽卡死导向销,当后座?离心复合环境消失的时候,由于闭锁卡槽的作用,克服MEMS平面弹簧的拉力而实现对微结构的闭锁,使滑块保持在另一种状态,其装配特征是:整体采用上盖板?基板?下盖板的三层平板结构,闭锁机构位于基板层,MEMS平面弹簧上下与基板和滑块相连接,导向销固定于上盖板的孔、滑块导向槽和下盖板的孔中。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:娄文忠王辅辅王瑛刘芳怡丁旭冉刘鹏
申请(专利权)人:北京理工大学
类型:发明
国别省市:

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