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本发明提供一种多堆叠式固化系统。该系统包括腔室，腔室具有入口和出口。储盒安装在腔室中。具有密封剂的多个基板装载在储盒中。加热器安装在腔室中，并用于加热具有密封剂的所述多个基板。装载单元布置成与入口相邻。装载单元具有输送装置和推杆。基板识别装...
该专利属于三星电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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