下载用于具有高k金属栅极的NFET的结构和方法的技术资料

文档序号:9296697

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本公开内容提供了一种集成电路。集成电路包括:半导体衬底;n-型场效应晶体管(nFET),形成在半导体衬底上方并且具有包括高k介电层、位于高k介电层上方的保护层、位于保护层上方的p功函金属以及位于p功函金属上方的多晶硅层的第一栅叠层;以及p-...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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