用于具有高k金属栅极的NFET的结构和方法技术

技术编号:9296697 阅读:133 留言:0更新日期:2013-10-31 01:00
本公开内容提供了一种集成电路。集成电路包括:半导体衬底;n-型场效应晶体管(nFET),形成在半导体衬底上方并且具有包括高k介电层、位于高k介电层上方的保护层、位于保护层上方的p功函金属以及位于p功函金属上方的多晶硅层的第一栅叠层;以及p-型场效应晶体管(pFET),形成在半导体衬底上方并且具有包括高k介电层、位于高k介电层上方的p功函金属以及位于p功函金属上方的金属材料的第二栅叠层。本发明专利技术还提供了用于具有高k金属栅极的NFET的结构和方法。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种集成电路,包括:半导体衬底;n型场效应晶体管(nFET),形成在所述半导体衬底上并且具有包括高k介电层、位于所述高k介电层上的保护层、位于所述保护层上的p功函金属和位于所述p功函金属上的多晶硅层的第一栅叠层;以及p型场效应晶体管(pFET),形成在所述半导体衬底上并且具有包括所述高k介电层、位于所述高k介电层上的所述p功函金属和位于所述p功函金属上的金属材料的第二栅叠层。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱鸣黄仁安刘继文
申请(专利权)人:台湾积体电路制造股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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