温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种在半导体处理装置中对多种晶片并行地实施处理的情况下，能够迅速且简便地选择生产性高的向各处理室进行的晶片种类的分配的方法，上述半导体处理装置是在连接有处理室的搬运机构中配置多个搬运机器人，并在多个搬运机器人之间进行被处理体的交接...
该专利属于株式会社日立高新技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。