下载形成单边埋入导电带的方法的技术资料

文档序号:9296514

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本发明公开了一种形成单边埋入导电带的方法。首先,提供一基底,基底中包含有深沟渠,且深沟渠内设置有沟渠电容。在深沟渠内形成导电层,导电层覆盖在沟渠电容上。接着在导电层上形成衬垫层,并在衬垫层上形成牺牲层。然后移除部份的牺牲层,以暴露出部份的衬...
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