专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
南亚科技股份有限公司
>
形成单边埋入导电带的方法技术
>技术资料下载
下载形成单边埋入导电带的方法的技术资料
文档序号:9296514
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种形成单边埋入导电带的方法。首先,提供一基底,基底中包含有深沟渠,且深沟渠内设置有沟渠电容。在深沟渠内形成导电层,导电层覆盖在沟渠电容上。接着在导电层上形成衬垫层,并在衬垫层上形成牺牲层。然后移除部份的牺牲层,以暴露出部份的衬...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。