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一种用于制作准单晶硅的装置及一种准单晶硅的制作方法制造方法及图纸
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下载一种用于制作准单晶硅的装置及一种准单晶硅的制作方法的技术资料
文档序号:9293307
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本发明涉及一种用于制作准单晶硅的装置,所述装置包括至少二个长方体坩埚、以及至少一个梯形体坩埚,所述梯形体坩埚连接于相邻的二个长方体坩埚之间,并且位于上方的长方体坩埚大于位于下方的长方体坩埚。本发明还涉及准单晶硅的制作方法,包括以下步骤:选取...
该专利属于比亚迪股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过比亚迪股份有限公司授权不得商用。
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