下载用于FinFET器件的鳍结构的技术资料

文档序号:9277998

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提供一种用于鳍式场效应晶体管(FinFET)器件的鳍结构。器件包括:衬底、设置在衬底上的第一半导体材料、设置在衬底上方并且形成在第一半导体材料的相对两侧的浅沟槽隔离(STI)区、以及形成在STI区上设置的第一鳍和第二鳍的第二半导体材料,第一...
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