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本发明提供盘表面检查方法及其装置。在盘表面的检查中，为了能够从零散存在的擦伤缺陷中分离在盘上同心圆状产生的圆形擦伤缺陷，而向样本照射光，检测从样本反射的正反射光，从正反射光中分离正反射光附近的散射光来检测，检测在相对于样本的法线方向比正反射...
该专利属于株式会社日立高新技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

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