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分段式聚焦环组件制造技术
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文档序号:9264346
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本实用新型涉及分段式聚焦环组件,其实施例包括聚焦环分段和聚焦环组件。在一种实施例中,聚焦环分段包括弧形主体,该主体具有下部环分段、中部环分段、顶部环分段和唇缘。下部环分段具有底表面,中部环分段也具有底表面,其中,中部环分段在中部环分段的底表...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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