分段式聚焦环组件制造技术

本实用新型专利技术涉及分段式聚焦环组件，其实施例包括聚焦环分段和聚焦环组件。在一种实施例中，聚焦环分段包括弧形主体，该主体具有下部环分段、中部环分段、顶部环分段和唇缘。下部环分段具有底表面，中部环分段也具有底表面，其中，中部环分段在中部环分段的底表面处连接到下部环分段。顶部环分段具有底表面，其中，顶部环分段在顶部环分段的底表面处连接到中部环分段。唇缘在中部环分段的上方水平地延伸，其中，唇缘朝着聚焦环分段的中心线在径向向内倾斜。在另一种实施例中，聚焦环组件包括至少一个第一环分段和第二环分段。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种聚焦环分段，其特征在于包括：弧形主体，包括：下部环分段，具有底表面；中部环分段，具有底表面，其中，所述中部环分段在所述中部环分段的底表面处连接到所述下部环分段，并在所述下部环分段的上方水平地延伸；顶部环分段，具有底表面，其中，所述顶部环分段在所述顶部环分段的底表面处连接到所述中部环分段；以及唇缘，在所述中部环分段的上方水平地延伸，其中，所述唇缘朝着所述聚焦环分段的中心线在径向向内倾斜。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：杰瑞德·艾哈迈德·里，保罗·路透，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：实用新型
国别省市：