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一种异质结、铁电隧道结及其制备方法和应用技术
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文档序号:9239234
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本发明公开了一种异质结,包括衬底和在衬底上外延生长的一层铁电薄膜,所述衬底为n型或p型掺杂硅半导体,所述铁电薄膜为SrTiO3薄膜。本发明还公开了一种铁电隧道结,包括上述异质结,所述异质结的铁电薄膜表面覆有上电极,异质结的铁电薄膜作为铁电隧...
该专利属于济南大学所有,仅供学习研究参考,未经过济南大学授权不得商用。
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