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一种异质结、铁电隧道结及其制备方法和应用技术

技术编号:9239234 阅读:149 留言:0更新日期:2013-10-10 03:10
本发明专利技术公开了一种异质结,包括衬底和在衬底上外延生长的一层铁电薄膜,所述衬底为n型或p型掺杂硅半导体,所述铁电薄膜为SrTiO3薄膜。本发明专利技术还公开了一种铁电隧道结,包括上述异质结,所述异质结的铁电薄膜表面覆有上电极,异质结的铁电薄膜作为铁电隧道结的势垒层,异质结的衬底作为铁电隧道结的下电极。本发明专利技术还公开了它们的制备和应用。本发明专利技术异质结实现了钛酸锶与非本征硅的直接外延生长,表现出了稳定的极化翻转特性,制成隧道结可电调制势垒的高度而且可电调制势垒的宽度,从而大大提高了隧道电阻。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种异质结,其特征是:包括衬底和在衬底上外延生长的一层铁电薄膜,所述衬底为n型或p型掺杂硅半导体,所述铁电薄膜为SrTiO3薄膜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:杨锋胡广达武卫兵杨长红吴海涛
申请(专利权)人:济南大学
类型:发明
国别省市:

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