下载晶格匹配体系上裁剪带隙波长提高光电探测器性能的方法的技术资料

文档序号:9224239

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本发明涉及一种晶格匹配体系上裁剪带隙波长提高光电探测器性能的方法,包括:采用分子束外延法或金属有机物气相外延法,在衬底上生长晶格匹配的缓冲层、多元系光吸收层和宽禁带帽层得到光电探测器件外延结构;其中,生长过程中对多元系光吸收层的带隙进行裁剪...
该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。

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