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一种图像传感器及其形成方法,所述图像传感器包括:半导体基底,所述半导体基底包括像素阵列区和周边器件区;位于所述像素阵列区内的若干像素单元,所述像素单元之间通过第一浅沟槽隔离结构相隔离;位于所述周边器件区内的逻辑电路器件,所述逻辑电路器件之间...该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。
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一种图像传感器及其形成方法,所述图像传感器包括:半导体基底,所述半导体基底包括像素阵列区和周边器件区;位于所述像素阵列区内的若干像素单元,所述像素单元之间通过第一浅沟槽隔离结构相隔离;位于所述周边器件区内的逻辑电路器件,所述逻辑电路器件之间...