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一种集成于微流控芯片上的电磁微阀制造技术
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文档序号:9221837
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本发明涉及一种集成于微流体芯片上的顶针式电磁微阀结构。本发明所述的微流控芯片由带有流体通道的芯片和基片组成,其特征在于:所述微阀包括一片永磁铁,一个电磁铁、一个顶针和一个阀座;所述阀座为加工于所述芯片上且位于流体通道上方的下凹孔,阀座底面为...
该专利属于大连海事大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连海事大学授权不得商用。
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