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本发明涉及一种用于确定可围绕旋转轴（12）旋转的衬底容纳装置（14）的、垂直于X-Y坐标系的旋转轴（12）在X-Y坐标系中的X-Y位置的方法，其中所述衬底容纳装置用于容纳衬底（3），所述方法包括以下步骤：确定设置在衬底容纳装置（14）或者衬...
该专利属于EV集团E·索尔纳有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过EV集团E·索尔纳有限责任公司授权不得商用。

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