用于确定旋转轴位置的方法技术

本发明专利技术涉及一种用于确定可围绕旋转轴（12）旋转的衬底容纳装置（14）的、垂直于X-Y坐标系的旋转轴（12）在X-Y坐标系中的X-Y位置的方法，其中所述衬底容纳装置用于容纳衬底（3），所述方法包括以下步骤：确定设置在衬底容纳装置（14）或者衬底（3）处的参考标记（10）的第一X-Y参考位置RP，将衬底容纳装置（14）围绕旋转轴（12）旋转限定的旋转角R，尤其是旋转180度，确定参考标记（10）的通过该旋转改变的第二X-Y参考位置RP’，以及计算旋转轴（12）在衬底平面中的位置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：T瓦根莱特纳，
申请(专利权)人：EV集团E·索尔纳有限责任公司，
类型：
国别省市：