下载金属栅极半导体器件的技术资料

文档序号:9199244

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提供了方法和器件,包括设置在衬底上方的多个不同配置的栅极结构。例如,第一栅极结构与第一类型的晶体管相关联,并且包括第一介电层和第一金属层;第二栅极结构与第二类型的晶体管相关联,并且包括第二介电层、第二金属层、多晶硅层、第一介电层和第一金属层...
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