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氮化物系半导体装置制造方法及图纸
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文档序号:9175439
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本发明目的在于提供一种氮化物系半导体装置,其防止MOS型器件的栅绝缘膜的损坏,并且提高了可靠性。设置于漏电极(26)与栅电极(28)之间的SBD金属电极(30)与AlGaN层(20)进行肖特基接合。此外,SBD金属电极(30)与源电极(24...
该专利属于先进动力设备技术研究协会所有,仅供学习研究参考,未经过先进动力设备技术研究协会授权不得商用。
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