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高电子迁移率晶体管及其制造方法技术
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文档序号:9172290
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本发明提供了高电子迁移率晶体管(HEMT)和制造HEMT的方法,该HEMT的封装是容易的,该HEMT包括:缓冲层;沟道层,形成在缓冲层上并包括二维电子气(2DEG)沟道;沟道提供层,形成在沟道层上;源电极、漏电极和栅电极,形成在沟道提供层上...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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