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一种无结垂直栅晶体管，包括：有源柱体，所述有源柱体从衬底垂直地突出，并包括第一杂质区、在所述第一杂质区之上顺序地形成的第二杂质区和第三杂质区；栅电极，所述栅电极耦合到所述第二杂质区的侧壁；以及位线，所述位线沿着与所述栅电极相交的方向排列，且...
该专利属于爱思开海力士有限公司;韩国科学技术院所有，仅供学习研究参考，未经过爱思开海力士有限公司;韩国科学技术院授权不得商用。

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