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本发明公开了一种对晶圆表面进行处理的方法，该方法是在欧姆接触合金后采用紫外臭氧清洗系统(UVOCS)对晶圆表面进行紫外线及臭氧(UV/Ozone)表面处理，即采用低压石英汞灯产生254nm和185nm范围的紫外线及臭氧对晶圆表面进行30分钟...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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