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本发明提供一种即使在利用回收的处理液进行处理的情况下也能够进行恰当的处理的处理装置和处理方法。根据一个实施方式，处理装置具备输送被处理物的输送部、回收已供给到由输送部输送的被处理物的处理面上的第一处理液的回收部、将由回收部回收的第一处理液向...
该专利属于株式会社东芝;芝浦机械电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社东芝;芝浦机械电子株式会社授权不得商用。

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