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本发明公开了一种减缓透镜加热用的光掩膜，其包括基板、目标图案和重分配图案。基板包括有效的图案区域，目标图案则位于有效的图案区域中，而用来将目标图案建立到晶圆上。重分配图案也位于有效的图案区域中，而用来将能量重新分配至镜片上，但是又不会被转印...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。

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