【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种减轻透镜加热用的光掩膜，其特征在于，包含：一基板，其包括有效的图案区域；位于所述有效的图案区域中的一目标图案，用来将所述目标图案建立到一晶圆上；以及一重分配图案，位于所述有效的图案区域中，用来将能量重新分配至一镜片而不会被转印至所述晶圆上，也不会在将所述目标图案建立至所述晶圆上时修改所述目标图案。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：周建明，安东·戴佛乐，艾瑞克·拜尔斯，
申请(专利权)人：南亚科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。