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一种基于微环-马赫曾德尔干涉仪结构的电光调制器制造技术
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下载一种基于微环-马赫曾德尔干涉仪结构的电光调制器的技术资料
文档序号:9142208
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本发明公开了一种基于微环-马赫曾德尔干涉仪结构的电光调制器,其包括:入射波导,其为直波导,用于接收入射光和输出出射光;弯曲波导,其与入射波导近距离设置,使得经过入射波导内的入射光部分耦合进该弯曲波导,且经过该弯曲波导的出射光部分耦合进所述入...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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