下载一种免底涂工艺的技术资料

文档序号:9138855

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本发明公开了一种免底涂工艺,包括以下步骤:(1)对镀件表面进行高压离子清洗;(2)对清洗后的镀件表面镀基膜,并镀上有机硅等离子重合SiOx;(3)在真空室内对涂有基膜的镀件进行蒸发镀膜,真空度为3×10-2Pa;(4)在炉内对镀膜后的镀件附...
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