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本发明提供了在平板显示器面板的衬底上淀积有机物质的方法。有机材料淀积设备可包括内部形成有处理空间的腔室和供给源装置，该供给源装置生成有机源并通过设于所述处理空间中的喷淋头将所述有机源注入并扩散进所述处理空间中。所述衬底由载台装置支撑，该载台...
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