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单轴应变量子阱器件及其制造方法技术
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文档序号:9089297
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一种平面或非平面量子阱器件以及形成该量子阱器件的方法。该器件包括:包括大带隙材料的缓冲区;缓冲区上的单轴应变量子阱沟道区;量子阱沟道区上的包括大带隙材料的上阻挡区;量子阱沟道区上的栅极电介质;栅极电介质上的栅极电极;以及在栅极电极的各相应侧...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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