下载应用于阻变存储器的Al-W-O堆叠结构的技术资料

文档序号:9087614

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根据本发明实施例的应用于阻变存储器的Al-W-O堆叠结构,包括:钨下电极;形成在钨下电极之上的氧化钨层;形成在氧化钨层之上的氧化铝层;以及形成在氧化铝层之上的铝上电极。本发明利用铝、钨两种金属与氧离子结合的不同特性,得到的阻变存储器具有更稳...
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