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基于多晶碘化汞薄膜的X射线探测器的制备制造技术
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下载基于多晶碘化汞薄膜的X射线探测器的制备的技术资料
文档序号:9087601
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本发明涉及利用超声辅助物理气相沉积技术,生长多晶碘化汞薄膜,并在薄膜上制备了X射线探测器方法,属于以半导体材料制备的射线成像探测器技术领域。该发明解决了制作碘化汞薄膜技术,与射线探测器制备工艺问题。此技术以经多次提纯后的碘化汞为原材料,采用...
该专利属于上海大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海大学授权不得商用。
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