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公开了一种用于对包括对接端口的等离子体处理系统执行一组服务程序的机器人装置。该装置包括平台和连接到平台的对接探针，其中，对接探针被配置为与对接端口对接。该装置还包括连接到平台的机械手臂，和连接到机械手臂的工具，并且该机械手臂还被配置为充分执...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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