下载晶体硅及其制备方法的技术资料

文档序号:9079367

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本发明涉及一种晶体硅的制备方法,包括以下步骤:在坩埚底部中央铺设填充料,在填充料上铺设单晶硅籽晶,形成单晶硅籽晶层,在填充料和单晶硅籽晶层的四周铺设多晶硅块,形成多晶硅籽晶层;在单晶硅籽晶层和多晶硅籽晶层上设置熔融状态的硅料,控制坩埚内的温...
该专利属于江苏协鑫硅材料科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏协鑫硅材料科技发展有限公司授权不得商用。

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