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本发明提供了一种磷酸硅玻璃薄膜的等离子体化学气相沉积方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：执行磷酸硅玻璃薄膜沉积的预步骤；磷酸硅玻璃薄膜沉积；其中，磷酸硅玻璃薄膜沉积的预步骤中通入一反应气体，反应气体为磷化氢气体，所述磷化氢气体的流量为5...
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