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本发明是成膜装置、以及成膜装置用基板搬运机构。提供能够缩小转送室的高度以及处理腔室的高度、且能够缩小闸阀的开口的上下方向的大小的长行程搬运机构。从下方开始第二层的直动轴承的上下两个滚动体保持部背对背地固定安装于基体（第一移动件）上，接下来一...
该专利属于株式会社日立高新技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

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