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本实用新型提供一种硅舟，所述硅舟包括舟体，所述舟体的上沿设有容纳热偶的凹槽。该硅舟在舟体的上沿设置容纳热偶的凹槽，这样当使用该硅舟时，凹槽内可以设置热偶，硅舟被放入扩散炉内时就可以实时监控扩散炉内的温度，从而提高硅片的加工质量。...
该专利属于深圳深爱半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳深爱半导体股份有限公司授权不得商用。

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