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本发明提供一种能够在组件或向各组件搬送基板的基板搬送机构中的任一个发生故障的情况下防止对基板继续进行不良的处理的技术。本发明的装置包括：多个接受目标组件，基板保持部从该多个接受目标组件接受基板；检测由基板保持部保持的基板的保持位置与在该基板...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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