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本发明涉及带位移自检测功能的3-DOF硅基平面并联定位平台及制作方法，该定位平台包括单晶硅基片和玻璃基片，单晶硅基片上设有载物台、静电梳齿致动器、检测梁、折叠梁、柔性支撑梁和柔性铰链，载物台位于单晶硅基片的中央并可三自由度运动，载物台通过柔...
该专利属于上海工程技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海工程技术大学授权不得商用。

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