温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种带电粒子多小波束系统，其包含带电粒子源（301）；具有多个孔径的第一多孔径板（320），其布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游；第一多孔径选择器板（313），具有多个孔径；载体（340），其中所述第一多孔径选择器板安装...该专利属于以色列实用材料有限公司;卡尔蔡司SMT有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过以色列实用材料有限公司;卡尔蔡司SMT有限责任公司授权不得商用。