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本实用新型涉及屏蔽件和处理套件。物理气相沉积腔室的屏蔽件包括：圆柱形外带；圆柱形内带；基部平板，其将圆柱形外带与圆柱形内带耦接以形成单件式单一构件；及多个球体，其耦接至圆柱形内带，球体向圆柱形内带的内部径向延伸。...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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