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本发明涉及一种单芯片背面金属工艺夹具,该夹具包括有圆片承片基座、U形定位框、固定压块、硅固定挡条,硅垫片等七大部分。采用本发明夹具后,由于没有残胶、芯片的擦伤减少,其背面的金属纯度提高,因而大幅提高了芯片背面金属工艺的成品率,IC成品率从原...该专利属于中国电子科技集团公司第二十四研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第二十四研究所授权不得商用。
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本发明涉及一种单芯片背面金属工艺夹具,该夹具包括有圆片承片基座、U形定位框、固定压块、硅固定挡条,硅垫片等七大部分。采用本发明夹具后,由于没有残胶、芯片的擦伤减少,其背面的金属纯度提高,因而大幅提高了芯片背面金属工艺的成品率,IC成品率从原...