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本发明提供一种调整具有停留时间限制的工艺阶段产能的方法和系统，包括：获得具有停留时间限制的当前工艺阶段，获得当前工艺阶段的规定停留时间、产能、当前等待生产的产品数目；获得当前工艺阶段的最大停留时间；若所述最大停留时间大于规定停留时间，则减小...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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