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通过碳纳米管凸点实现玻璃覆晶封装的方法技术
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文档序号:8981294
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本发明涉及一种通过碳纳米管凸点实现玻璃覆晶封装的方法,该方法的具体步骤为:在清洗干净的芯片上生长碳纳米管凸点;对步骤a所得碳纳米管凸点进行致密化处理;在步骤b所得碳纳米管凸点表面依次溅射Ti层和Au层,其中Ti层的厚度为20~50纳米,Au...
该专利属于上海大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海大学授权不得商用。
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