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本发明涉及一种暖机控制方法，包括以下步骤：在一晶圆加工设备对晶圆进行工艺操作前，先根据工艺操作的需求设定晶圆加工设备的至少一个暖机类型，同时分别设定与每个暖机类型相对应的暖机条件和暖机控片种类；实时获取晶圆加工设备的检测数据信息；将检测数据...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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