温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种电子装置制造室及其形成方法。在第一方面中，提供了一种第一多部件室。该第一多部件室包括：（1）中央部件，具有第一侧面和第二侧面；（2）第一侧部件，适合与中央部件的第一侧面连接；以及（3）第二侧部件，适合与中央部件的第二侧面连接。当中央部件...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。