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台湾积体电路制造股份有限公司
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用于集成电路的UBM的形成制造技术
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下载用于集成电路的UBM的形成的技术资料
文档序号:8908074
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一种方法包括在金属焊盘上方形成聚合物层;在聚合物层中形成开口从而暴露出金属焊盘的一部分;以及形成凸块下金属化层(UBM)。该UBM包含延伸至开口内的电连接至金属焊盘的部分。本发明提供了用于集成电路的UBM的形成。...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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