下载用于集成电路的UBM的形成的技术资料

文档序号:8908074

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一种方法包括在金属焊盘上方形成聚合物层;在聚合物层中形成开口从而暴露出金属焊盘的一部分;以及形成凸块下金属化层(UBM)。该UBM包含延伸至开口内的电连接至金属焊盘的部分。本发明提供了用于集成电路的UBM的形成。...
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