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本发明针对传统抛光垫在抛光加工过程中效率低、成本高、均匀性和可靠性差、工艺控制能力不强以及多次装夹工件致使工件的加工定位基准发生改变，从而影响最终的加工精度和效率等缺点，提出了一种用于化学机械抛光的分层冷冻磨料抛光垫及其制备方法，以适应目前...
该专利属于南京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京航空航天大学授权不得商用。

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