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本发明涉及一种抛光含铝基板的表面的方法，其包括将该基板的表面与抛光垫及包含研磨剂、对铝进行氧化的试剂及液体载体的抛光组合物接触，并研磨该表面的至少一部分以自该基板移除至少一些铝且抛光该基板的该表面，其中该研磨剂为微粒状且悬浮于该液体载体中。...
该专利属于卡伯特微电子公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡伯特微电子公司授权不得商用。

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